• <menu id="qkgyu"><samp id="qkgyu"></samp></menu>
  • <td id="qkgyu"><bdo id="qkgyu"></bdo></td>
  • <rt id="qkgyu"><input id="qkgyu"></input></rt>
  • 您所在的位置:首頁 - 新聞資訊 - 技術支持

    聯系我們

    地址:徐州市金山橋經濟開發區廟山路17號

    聯系人:于經理13905207221

    聯系人:王經理400-012-0017

    電話:0516-87761182

    傳真:0516-87761959


    氧氣/氮氣流量對摻氮氧化鋅特性影響實驗

    發布時間:2019-9-19 9:38:40      點擊次數:1824

    氮氣幾乎為惰性的雙原子氣體,化學性質極不活潑,氣體分子比氧分子大,不易熱漲冷縮,變形幅度小。氮氣主要用途有:化肥、氨、硝酸等化合物的制造,惰性保 護介質,速凍食品、低溫粉碎等的制冷劑、冷卻劑,電子工業中的外延、擴散、化學氣相淀積、離子注入、等離子干刻、光刻等,還用作標準氣、校正氣、零點氣、平衡氣等。今天就為大家介紹一下氮氣流量對摻氮氧化鋅特性影響實驗。

    實驗使用反應式離子束濺鍍法沉積摻氮氧化鋅薄膜,采用陽極層離子源,以鋅為靶材,同時通入氬氣、氧氣及氮氣,探討氧/氮流量對摻氮氧氧化鋅薄膜的特性影 響。實驗結果顯示在氧流量0.5~4.0sccm,氮流量0.5~2.0sccm300°C下所沉積之氧化鋅薄膜皆具有ZnO(002)面擇優成長特性。未摻氮之氧化鋅薄膜皆呈現壓縮應力,摻入氮后(002)繞射峰值往小角度偏移且半高寬增加,顯示c軸常數增加及晶粒減小。拉曼光譜分析未摻雜之氧化鋅得到氧化鋅E2(high)436cm-1及A1(LO)580cm-1震盪模式,摻氮后得到275cm-1、580cm-1及640cm-1的摻氮氧化鋅的局部震盪模式,代表氮已摻入氧化鋅薄膜中?;魻柫繙y顯示氧氣流量為1.0sccm時所沉積之摻氮氧化鋅在氮氣流量大于1.0sccm時可得電洞濃度1015~1017cm-3之p型氧化鋅。


    上一條:氬氣流量對濺鍍二氧化鈦及碳薄膜特性的影響
    下一條:氧氣是怎么制成的

    返回列表

    您感興趣的新聞

    在線留言

    ONLINE MESSAGE

    欧美xxxx做受视频_久久伊人自慰网85_1024毛片_亚洲不卡中文字幕无码